Uzaktan Erişim Aracı

Yükleyici bir Web sunucusu işleviyle donatılmıştır. Yükleyici bir LAN'a bağlandığında, bir PC'de inceleme tarifleri oluşturabilir ve yükleyiciden kolayca veri yedekleyebilirsiniz.

1. Reçete hazırlama destek işlevleri
   Bir Web tarayıcı sihirbazı, NWL200'de yansıtılan adımlarda size yol gösterir. Bu, waferlerin durumunu kontrol ederken, optimum tarifleri güvenli ve basit bir şekilde hazırlamanızı sağlar.
2. Ekipman bakımı
   Kontrol reçetelerini kolayca yedekleyin ve geri yükleyin.

Anti-Kirlenme Önlemleri

Waferleri merkezlerken sürtünme veya darbeden kaynaklanan tozu önlemek için, yönlendirme düzlemlerinin merkezleme ve hizalaması fotoelektrik sensörler kullanılarak temas olmaksızın gerçekleştirilir. Sistem, temiz odadaki temiz havanın akışını kesmeyecek şekilde yapılandırılmıştır ve waferin emme yüzeyi üzerinde oluşan parçacıkları önlemek için önlemler alınmaktadır. Ek olarak, kapak statik elektrik ve toz birikmesini önlemek için paslanmaz çeliktir. Günümüzün yüksek entegrasyonlu yarı iletken üretim sürecinin, denetim sırasında kirlenmeden korunmasını sağlamak için her türlü önlem alınmıştır.

Yüksek güvenilirlik

Bir hata meydana geldiğinde, LCD panelde bir hata mesajı görüntülenir. Güç kapatıldığında bile, makro kontrol mekanizmasının vakum mandreni açık kalır. Bir sorun ortaya çıkarsa, yükleyicideki rulolar cımbız kullanmadan taşıyıcıya geri gönderilebilir.

Makro Denetim Fonksiyonları

Tüm alanların desen tarafı makro denetimlerine ek olarak, arka taraf çevre ve arka taraftaki merkezin makro denetimi standart olarak desteklenir. Wafer dönüş hızı ve eğim açısı gibi makro denetim parametreleri otomatik veya manuel olarak ayarlanabilir. Başlangıç ayarlarını önceden yapmak ve kumanda çubuğunu kullanarak daha fazla ayar yapmak için makro ayar düğmelerini kullanın. Ayrıca yeni WIL-LED aydınlatma sistemi, daha geniş bir alanda daha düzgün aydınlatma sağlar. Spot aydınlatmadan üniform geniş alan aydınlatmasına kadar çeşitli aydınlatma sistemleri mevcuttur.

Desen tarafı makro denetimi 
(bir WIL-LED aydınlatıcı kullanılarak)
 

 Arka orta merkez makro denetimi 
(fiber optik aydınlatıcı kullanarak 

Arka taraf çevre makro denetimi (fiber optik aydınlatma kullanılarak)

Maksimum Verim için Dişli Özellikler

Asansörün şaşırtıcı derecede hızlı olması değil, temassız merkezleme mekanizması da hizalamayı hızlı ve doğru bir şekilde gerçekleştirmeyi mümkün kılıyor. Multi-arm sistemi, aynı zamanda, waferlerin tam olarak hassas bir şekilde yüklenip boşaltılmasına ve transfer ve wafer alışverişinin genel verimliliğini artırmaya imkan verir. Bu, döngü zamanlarını önemli ölçüde azaltır, daha önce başka hiçbir sistemde görülmemiş iş hacmi seviyelerine ulaşır.

Wafer Kontrol Ünitesi

Ön paneldeki yeni wafer yuvası düğmeleri kullanıcıların tek bir düğmeyle yuvadan herhangi bir wafer seçmesine izin verir. Ayrıca, büyük ve belirgin LCD panel, kullanıcıların örnekleme ve inceleme modelleri gibi koşulları belirleme ve bir bakışta hataların durumunu ve çalışma durumunu kontrol etmelerini sağlar. Ekranlar, her bir görev için bir ekran ile hiyerarşik bir yapıda düzenlenir ve bu sayede basamaklar boyunca düzgün bir ilerleme için sezgisel bir iletişim biçimi ortaya çıkar. Taşıyıcılar, numuneler vb. Için kapsamlı bir dosya yönetimi işlevleri paketi, denetimin otomatikleştirilmesi için kullanışlıdır.

Modifiye Tasarım Geliştirilmiş Ergonomi Teklifleri

Doğal bir duruşta çalışmayı sağlamak için, sistemin her yönüne ergonomik verimlilik tasarlanmıştır. Kullanım tuşları ve düğmeler operatörün kolayca ulaşabileceği bir konumdadır, bu sayede operasyon elin veya gözün minimum hareket etmesini gerektirir. Wafer taşıyıcıları operatörün ön tarafında ve 35 ° 'de bulunur, böylece taşıyıcıların yüklenmesini kolaylaştırır ve waferleri taşıyıcıların içinde görsel olarak kontrol eder.

Yeni Ayna Sistemi 100µm Waferleri Destekler 

Waferler, üretim süreçlerinde ilerlemelerle daha da inceltilirler ve işlem sonrası aşamada kontrol için el ile çok ince waferlerin mikroskop üzerine yerleştirilmesini gerekli kılar. Nikon'un yeni ayna sistemi ile NWL200 Serisi, 100µm kadar ince bir incelikle ultra ince waferler yükleyebilir. Bu yüksek güvenlik ve güvenilirlik seviyesi, son yonga levhalarının kontrol edilmesine yönelik tüm gereklilikleri karşılar.

Geliştirilmiş Wafer Algılama Fonksiyonları

İnce waferler taşıyıcıda önemli bir bozulma yaşayabileceğinden, konum sensörleri doğru değilse kol bunlara zarar verebilir. Geçmişte, sensörlerin waferlerin distorsiyonunu doğru bir şekilde okuması zordu, fakat wafer algılayıcı ışınlarının optimize edilmiş düzenlemesiyle, NWL200 Serisi kasetteki ince waferlerin şeklini doğru bir şekilde algılayabilir.