JBX-3050MV serisi, 45 ila 32 nm tasarım kuralını karşılayan maske / retikül üretimi için bir elektron ışını litografi sistemidir. Bu sistem, üst düzey teknoloji ile elde edilen yüksek hız, yüksek doğruluk ve yüksek güvenilirlik ile desen yazma özelliğine sahiptir.


Özellikler

Pozlama Yöntemi Vektör tarama, değişken şekilli ışın
Hızlanma Gerilimi 50 kV
Elektron Tabancası Yayıcı LaB 6 tek kristal
Pattan ≤ ± 4 nm (3δ)
Yazma Pozisyonu Doğruluğu ≤ ± 10 nm