 
                        JBX-3050MV serisi, 45 ila 32 nm tasarım kuralını karşılayan maske / retikül üretimi için bir elektron ışını litografi sistemidir. Bu sistem, üst düzey tekn oloji ile elde edilen yüksek hız, yüksek doğruluk ve yüksek güvenilirlik ile desen yazma özelliğine sahiptir.
oloji ile elde edilen yüksek hız, yüksek doğruluk ve yüksek güvenilirlik ile desen yazma özelliğine sahiptir.
| Pozlama Yöntemi | Vektör tarama, değişken şekilli ışın | 
| Hızlanma Gerilimi | 50 kV | 
| Elektron Tabancası Yayıcı | LaB 6 tek kristal | 
| Pattan | ≤ ± 4 nm (3δ) | 
| Yazma Pozisyonu Doğruluğu | ≤ ± 10 nm |