JEOL, çok düşük enerji ışınlarının (“yumuşak” X-ışınları olarak adlandırılır) verimli ve paralel toplanmasına izin veren, değişken bir ızgara kullanan, benzeri görülmemiş yeni bir tür dalga boyu dağıtıcı spektrometre (WDS) geliştirdi. Bu yeni Yumuşak X-ışını Emisyon Spektrometresi (SXES)sadece Azot Ka ve Titanyum Lℓ hattının ayrılmasını sağlayan yüksek spektral çözünürlüğe (0.3eV) değil, aynı zamanda çok düşük enerjili, düşük tek haneli ağırlık yüzdesi konsantrasyonunda bile Li'yi tespit etme kabiliyetine sahip düşük konsantrasyon hassasiyetine sahiptir. Ek ve belki de en güçlü varlığı kimyasal durum analizi yapabilmesidir. Spektrometre, X-ışınları yaydıklarında iletim bandı ve değerlik bandı elektronları arasındaki farkları tespit ederek aynı elemanları içeren numunelerde bağlanma ve kristal yapı arasındaki ayrımı sağlar. Bir örnek, her ikisi de sadece karbondan yapılmış yüksek dereceli pirolitik grafit ile elmasın ayırt edilmesidir.

SXES hem FE-SEM hem de EPMA için kullanılabilir.

Li Tespiti: Bileşiklerde tepe şekli

Metalik Li'de, tek bir K hattı tespit edilir. Li-bileşiklerinde ve valans bandının doluluk durumuna bağlı olarak ilave uydu piki oluşabilir.

 

Yüksek Enerji Çözünürlüklü Spektral Haritalama

SXES, Li-K emisyonunun ilk kez doğrudan gözlenmesine izin verir. Hatta, farklı pil şarj seviyelerinden kaynaklanan bir Li-pil içindeki farklı kimyasal durumları haritalayabilir. İki farklı Li-K emisyon hattı haritalanabilir. Düşük enerjili Li-K hattının yoğunluğu, bataryadaki şarj derecesine ve daha yüksek enerjili Li-K hattı, metalik olarak bağlı Li miktarına karşılık gelir.

Hızlı Paralel Tespit

Yeni geliştirilen sapma düzeltilmiş ızgara sistemi ve yüksek hassasiyetli X-ışını CCD, SXES'in aynı anda geniş bir enerji spektrumu toplamasına izin verir.

Kimyasal Durum Analizi

SXES ile kimyasal durum analizi XPS veya EELS ile karşılaştırılabilir. SXES, Al metalinin Al-L emisyonunun Fermi kenarı kullanılarak gösterildiği gibi, sadece 0.3 eV'lik bir enerji çözünürlüğüne sahiptir.