JIB-4000PLUS, yüksek performanslı bir iyon optik kolonu içeren odaklanmış bir iyon demeti öğütme ve görüntüleme sistemidir (tek huzmeli FIB sistemi). Hızlandırılmış Ga (galyum) iyon ışını, numune yüzeyinin SIM görüntüsünün gözlemlenmesini, öğütülmesini ve karbon veya tungsten gibi malzemelerin birikmesini sağlamak için bir numuneye odaklanır. Sistem ayrıca TEM görüntüleme için ince bir film numunesi ve numunenin içini gözlemlemek için bir kesit örneği hazırlamayı da sağlar. Ek olarak, JIB-4000PLUS bir 3D gözlem fonksiyonu ve bir otomatik TEM numune hazırlama fonksiyonu ile donatılabilir; bu nedenle sistem, numune hazırlıkları için çeşitli ihtiyaçları karşılar.


Özellikler

Yüksek Güçlü FIB sütunu

JIB-4000PLUS, maksimum iyon ışını akımı 60 nA olan bir Yüksek Güçlü FIB kolonu içerir. Ayrıca, sistem, numune hazırlama süresini kısaltmak ve numune hazırlama alanını genişletmek için 90 nA'ya (isteğe bağlı) kadar bir ışın akımını artırabilir. JIB-4000PLUS, çapı 100 µm'yi geçen bir enine kesit hazırlığı sağlar.

Bir lehim yumru bir kesit örneğinin hazırlanması ve gözlem (100 mikron çap).

Şekil 1 Bir lehim yumrudan (100 mikron çaplı) bir kesit örneğinin hazırlanması ve gözlenmesi.

Kullanıcı dostu FIB

JIB-4000PLUS, bir High-Power FIB sütununun mükemmel bir şekilde çalışmasını sağlar. Sistemin tasarım konsepti, acemi kullanıcılar için bile sistemin basit çalışması için tasarlanan GUI'nin yanı sıra dış görünüme sahip olması nedeniyle kullanıcı dostudur. Endüstrinin en küçük sınıfı olan sistemin kompaktlığı, kurulum sahası için daha geniş bir seçim yelpazesi için az yer kaplar.

İkiz sahne

JIB-4000PLUS'un standart konfigürasyonu, toplu numune motor aşamasını içerir. TEM yonga tutucusunun doğrudan yerleştirilmesine izin veren yan giriş gonyometre aşamasını eklemek de mümkündür. Yandan girişli gonyometre aşaması, JEOL TEM'ler için kullanılanla aynıdır, FIB öğütme ve TEM gözlemleri arasında geçişi kolaylaştırır.

3B gözlem fonksiyonu

JIB-4000PLUS, 3D gözlem için seri kesit görüntüleme işlevi ile birlikte gelir.
JIB-4000PLUS bir tek ışınlı FIB sistemi olmasına rağmen, SIM görüntüsü kullanılarak 3D gözlem yapılabilir. İsteğe bağlı 3B rekonstrüksiyon yazılımı, elde edilen çoklu kesit görüntülerin 3B rekonstrüksiyonunu mümkün kılar ve 3B görüntünün çeşitli açılardan görüntülenmesini sağlar.

CCD görüntü sensörünün 3D rekonstrüksiyon görüntüsü

Şekil.2 CCD görüntü sensörünün 3D rekonstrüksiyon görüntüsü

Otomatik TEM numune hazırlama fonksiyonu

JIB-4000PLUS, otomatik bir TEM numune hazırlama işlevi (isteğe bağlı) "STEMPLING" kullanabilir.
Bu fonksiyon sayesinde, numunelerin hazırlanmasında yüksek uzmanlık becerilerine ihtiyaç duyulmaz ve bu sayede herkesin kolayca numune hazırlamasını sağlar. İşlev aynı zamanda çoklu numunelerin otomatik hazırlanmasını da sağladığından, büyük miktarlarda numune hazırlamak için gece boyunca gözetimsiz çalışma yapılabilir.

自動 TEM 試 料 作 製 機能 (BAŞLAMA) の 加工 例 試 料 : リ リ コ ン ウ エ ハ ー

Şekil.3 Otomatik TEM numune hazırlama fonksiyonunun uygulama örneği (STEMPLING).
Örnek: Si gofret

Eklerin zenginliği

JIB-4000PLUS, devre modifikasyonları için yararlı olan CAD navigasyon sistemi ve karakteristik şekillere sahip bir numuneyi frezelemek için etkili vektör tarama sistemi dahil olmak üzere sistemin çalışmalarını desteklemek için mevcut olan çeşitli ekleri barındırır. JIB-4000PLUS'a uygun ataşmanlar eklenerek, sistem numune hazırlama dışındaki uygulamaları destekleyebilir.