Karmaşık nanoyapıları içeren yeni malzemelerin geliştirilmesindeki gelişmeler, FIB-SEM cihazlarına olağanüstü çözünürlük, doğruluk ve verim için artan talepler getirmektedir. Buna karşılık JEOL, morfolojik gözlemlerde, çeşitli örneklerin elementer ve kristalografik analizlerinde kullanılmak üzere JIB-4700F Multi Beam Sistemini geliştirmiştir.

JIB-4700F, 1 kV düşük hızda bir voltajda 1,6nm garantili bir çözünürlük sağlamak için hibrit konik objektif bir objektife, GENTLEBEAM ™ (GB) moduna ve objektif içi bir dedektör sistemine sahiptir. Maksimum 300nA prob akımına sahip bir elektron ışını üreten "lens içi Schottky emisyonlu elektron tabancası" kullanan bu yeni geliştirilen cihaz, yüksek çözünürlüklü gözlemler ve hızlı analizler için izin verir. FIB kolonu için, numunelerin hızlı iyonla öğütülmesi ve işlenmesi için 90nA maksimum prob akımına sahip yüksek akım yoğunluklu bir Ga iyon ışını kullanılır.

FIB ile yüksek hızlı kesit işleme ile eş zamanlı olarak, yüksek çözünürlüklü SEM gözlemleri ve hızlı analizler, enerji dağıtıcı X-ışını spektroskopisi (EDS) ve elektron geri saçılma kırınımı (EBSD) kullanılarak yapılabilir. Ek olarak, kesit işleminde belirli aralıklarla SEM görüntülerini otomatik olarak yakalayan üç boyutlu bir analiz işlevi, JIB-4700F'nin standart özelliklerinden biri olarak sağlanır.

Özellikler

Yüksek çözünürlüklü SEM gözlemi

1 kV düşük ivmelenme voltajında ​​1,6 nm garantili çözünürlük, manyetik / elektrostatik hibrit konik objektif lens, GB modu ve lens içi dedektör tarafından sağlanır.

Hızlı analiz

Hızlı analiz etkindir, çünkü yüksek çözünürlüklü, geniş prob akımı altındaki analizlerde lens içi Schottky emisyonlu elektron tabancası ve diyafram açısı kontrol lensi ile birleştirilebilir.

Yüksek hızlı işleme

Yüksek güçlü Ga iyon demeti kolonu, numunelerin hızlı işlenmesini sağlar.

Gelişmiş algılama sistemi

Yeni geliştirilen objektif içi dedektörleri içeren eşzamanlı algılama sistemi, 4 detektöre kadar görüntülerin gerçek zamanlı olarak izlenmesini sağlar.

çok yönlülük

JIB-4700F, EDS, EBSD, kriyo transfer sistemleri, soğutma aşamaları ve hava yalıtımlı transfer sistemleri vb. Gibi isteğe bağlı çeşitli ataşmanlarla uyumludur.

Üç boyutlu gözlem / analiz

Üç boyutlu görüntü ve analiz verilerinin görselleştirilmesi, yüksek çözünürlüklü SEM ve uygun isteğe bağlı analiz üniteleri ile birlikte mümkündür.

Sahne bağlantı fonksiyonu

Atmosfer toplama sistemi (opsiyonel) ve kademeli bağlantı fonksiyonu ile TEM (transmisyon elektron mikroskobu) numuneleri kolaylıkla geri çekilebilir.

Resim bindirme sistemi

FIB görüntülerde atmosfer yakalama sisteminden bir optik mikroskop görüntüsünün üst üste bindirilmesi, bir FIB işlem noktasının tanımlanmasını kolaylaştırır.