VEGA, tüm kullanıcılara endüstri standardı otomasyon getiren ilk AFM'dir:

• İlgi alanı değişimi, lazer hizalama, nazik yaklaşım ve tarama parametrelerinin ayarlanması gibi tüm rutin prosedürler tamamen otomatiktir.
• Motorlu numune konumlandırma aşaması, 200 × 200 mm alanda 1 um konumlandırma hassasiyeti sağlayan optik görüntü ile ilişkilidir.
• Akıllı algoritmalar, çoklu AFM ölçümleri için kullanıcı arayüzü ve veritabanı görüntü depolaması sayesinde büyük ve çoklu numunelerin uzun süreli seri ölçümleri kolay ve zaman açısından etkili oldu.

Yüksek çözünürlüklü ölçümler için mükemmel ortam

Yüksek çözünürlüklü ölçümler, AFM çalışma ortamının olağanüstü düzeyde akustik ve titreşim izolasyonunu gerektirir. Dahili akustik muhafaza ve aktif titreşim önleme sistemi VEGA'yı zorlu AFM çalışmaları için mükemmel kılar.

Termal sapma, özellikle büyük mekanik parçalara sahip büyük örnek AFM'ler için yüksek çözünürlüklü ve uzun vadeli ölçümler için zorlu bir konudur. Yerleşik fansız muhafazanın benzersiz tasarımı, VEGA'ya 0,05 oC'lik olağanüstü sıcaklık kararlılığı koşullarında çalışma yeteneği sağlar. Bu, 0,2 nm / dak'dan daha düşük olağanüstü düşük termal kaymayı garanti eder.

Üstün çözünürlük

HOPG atom çözünürlüğü, 6 × 6 nm

Eşsiz 100x100 um kapalı döngü tarayıcı ve kontrol elektroniği tasarımımız atom çözünürlüğüne ve 30 pm'den daha az topografi ölçüm gürültüsüne izin verir.

850 nm uyumlu olmayan süper ışıldayan diyot (SLD) kaynağı ve özel optik şema tasarımı , ticari büyük örnek AFM'ler arasında en düşük 25 fm / √HZ OBD sensör gürültüsünü sağlar.

Özelleştirme

OEM örnek tutucular

VEGA mekanik tasarım hızlı değişim ve numune tutucunun üç noktadan monte edilmesini sağlar. İsteğiniz üzerine benzersiz geliştirmeler yapabiliriz:

• vakum gofret aynaları;
• çoklu numune tutucuları;
• örnek sıcaklık kontrol seçeneğine sahip tutucular;
• vb.

Ek optik ekipmanlar:

• 250 nm çözünürlüğe kadar optik mikroskop;
• raman spektroskopisi;
• elipsometri;
• vb.

Bu ekipman, 1 μm örnek XY konumlandırma hassasiyeti sayesinde AFM prob konumu ile entegre edilebilir ve ilişkilendirilebilir.

Ölçüm ve veri analiz prosedürlerinin otomasyonu

Yazılım mühendislerimiz ihtiyaçlarınıza göre benzersiz otomasyon algoritmaları geliştirebilir.

Temel yapılandırmada en gelişmiş AFM modları seti

HybriD (HD) modu:

• Nicel Nanomekanik Ölçümler (QNM) - Young modülünün haritalanması ve yapışma değerlerinin çalışması
• Hızlı Kuvvet Hacmi - her tarama noktası için kuvvet-mesafe eğrilerinin kaydedilmesi
• HD İletken Prob AFM (HD CP-AFM) - tahribatsız iletken ölçümler
• HD Piezoresponse Force Mikroskopisi (HD PFM) - tahribatsız piezoresponse ölçümleri
• HD KPFM, HD SCM, HD EFM - tek ve çok frekanslı elektrostatik çalışmalar
• HD MFM - manyetik çalışmalar

Kendi kendine birleştirilmiş difenilalanin peptit nanotüpleri: eşzamanlı topografi, yapışma, d2C / dZ2 ve HD modunda elde edilen düzlem içi piezoresponse fazı (polarizasyon yönü) ölçümleri, 8x8 μm

Kalay Bizmut alaşımı. (a) Topografi, (b) Elastik Modül, (c) Yüzey Potansiyeli

Curie noktasına yakın TGS kristalinin gerçek zamanlı sıcaklık dinamiğinin HD PFM çalışması. Topografi, düzlem dışı piezoresponse ile kaplanır.
Tarama boyutu 15 × 15 μm

Yüksek Çözünürlüklü Manyetik Kuvvet Mikroskobu (MFM)

30 nm MFM uzamsal çözünürlük, nihai sinyal-gürültü oranı ve 200 × 200 mm XY motorlu kademe, VEGA'yı veri depolama denetimi için mükemmel bir araç yapar.

HDD servo sektörü, 10x6 μm

Çok frekanslı elektrik çalışmaları:

• Tek ve iki geçişli Genlik ve Faz Modülasyonu Kelvin Prob Kuvvet Mikroskobu (KPFM)
• Tek ve iki geçişli Genlik ve Faz Modülasyonu Tarama Kapasitif Kuvvet Mikroskobu (SCFM)
• Tek ve iki geçişli Genlik ve Frekans Modülasyonu Elektrostatik Kuvvet Mikroskobu (EFM)

Topografya, Si üzerinde kendi kendine monte edilen F14H20'nin Yüzey Potansiyeli ve dC / dZ, 1.5x1.5 µm

Ölçüm kafaları

Geleneksel AFM probları için standart AFM kafası. Ticari probların çoğunluğu ile çalışmayı sağlar

Tarayıcı

Tip: kapalı döngü sensörlü tüp tarayıcı. İpucu ile tarama

Tarama aralığı, XYZ: Düşük Voltaj Modunda 100 × 100 × 10 µm veya 2 × 2 × 1 µm

Kapalı döngü: Tüm Yönler için kullanılabilir: XYZ

Sürücü elektronik gürültüsü <5 µV / √Hz

Uç-Örnek Konumlandırma

Tip: XYZ'de motorlu örnek konumlandırma

XYZ termal kayması: 0.2 nm / dak'dan az

Hareket aralığı: XY'de 200 × 200 mm, Z'de 30 mm

Konumlandırma hassasiyeti: XY'de 1 µm, Z'de 0,2 µm

Konumlandırma hızı: XY'de 8 mm / sn

Gezinme: kullanıcı tanımlı senaryo, video görüntüsü ile otomatik çoklu tarama, 3D fare uyumlu

Yaklaşım: akıllı yumuşak yaklaşım algoritması

Optik sensör

Işık kaynağı: FC tek modlu fiber ile 850 nm SLD, farklı dalga boylarında isteğe bağlı LDM ve SLD kaynakları

Optik sistem ayarı: otomatik

Optik ışın sapma sensörü gürültüsü: <25 fm / √Hz 50 kHz'nin üzerinde

Optik mikroskop

Tip: motorlu odak, dijital zoom ve XY konumlandırma. Numune ve lazer pozisyonu ile ilişkilidir

Çözünürlük: 0,98 μm

Görüş alanı: 1,2 × 0,8 mm'ye kadar (5 Mpixel)

Otomatik odaklama: konsol üzerinde, örnek üzerinde

Aksesuarlar

Çeşitli numune tutucuları

150 V öngerilim gerilimi uzatması

Sinyal Erişim Modülü

AFM probları: prob tutucu, piyasada bulunan çoğu probları destekler

Elektronik ve Yazılım

Tarama kanalı sayısı: 24'e kadar

Sinyal işleme: 512 Mb arabellek boyutu, 3x 340 MHz FPGA, 320 MHz DSP

Kilit amplifikatörleri: 2x analog kilitleme amplifikatörü, 3x dijital kilitleme amplifikatörü (Çok frekanslı AFM modları desteklenir)

Jeneratörler: 6x 32 bit dijital jeneratörler, Kilitleme için 4x

BV: +/- 10 V AC ve DC (bağımsız numune ve uç voltaj beslemesi), +/- 150 V AC ve DC (isteğe bağlı)

Kendi kendine test: otomatik performans kontrolü

Tarama parametreleri otomatik ayarı: sürücü genliği, kilitleme kazancı, ayar noktası, geri besleme kazancı, tarama hızı

Gelişmiş modların otomatik yapılandırması

Otomasyon Özellikleri: optik sistem ayarı, kullanıcı tanımlı senaryo ile 200 × 200 mm aralığında çoklu tarama, optik ve AFM görüntülerinin kaplaması, panoramik optik görünüm, ilgi çekici yer tasarrufu, konsolda otomatik odaklama, örnek üzerinde otomatik odaklama

Programlama araçları: Nova PowerScript dili, LabView entegrasyonu, Veritabanı entegrasyonu

Elde edilen görüntülerin veritabanında depolanması

PC arayüzü: USB

Çevresel koruma

Sıcaklık stabilizasyonu: 0.05 ° C hassasiyetle dahili fansız termal stabilizasyon

Akustik izolasyon: dahili akustik muhafaza

Titreşim izolasyonu: dahili aktif titreşim izolasyon tablosu

Temel Mod Seti

Kontak modu: Topografi, Yanal Kuvvet, Kuvvet modülasyonu, Yayılma Direnci, Piezoresponse Kuvvet Mikroskopisi, Kontak Rezonans Mikroskopisi

Genlik modülasyonu modu: Topografi, Faz Görüntüleme, Faz ve Genlik Modülasyonlu Tek ve İki Geçişli Kelvin Prob Kuvvet Mikroskobu, İki Geçişli ve Çerçeve Asansörü Manyetik Kuvvet Mikroskopisi, Tek ve İki Geçişli Elektrostatik Kuvvet Mikroskobu, Tek ve İki Geçiş Kapasitans Kuvvet Mikroskobu (dC / dZ ve dC / dV görüntüleme)

Hibrid modu: için topografya, Young modülü QNM 10 4 10 -e doğru 11 Pa, Faz ve Genlik modülasyonu, Manyetik Kuvvet Mikroskobu, Elektrostatik Kuvvet Mikroskobu, Taramalı Sığanın ile Adezyon QNM, Kuvvet Hacim, Current, Piezoresponse, Viskoelastiklik Kelvin Probe Kuvvet Mikroskopi Work Kuvvet Mikroskobu (dC / dZ ve dC / dV görüntüleme)

Nanolitografi: Gerilim, Akım, Kuvvet (Tüm Vektör ve Raster)

Spektroskopi: Kuvvet-, Genlik-, Faz-, Frekans-, Akım-Mesafe, I (V), Piezopulz, Özel mod

Boyutlar:

G × U × Y: 810 × 610 × 1450 mm